Команда ученых из Университета Джона Хопкинса разработала уникальную технологию, которая позволит создавать микросхемы меньших размеров, с увеличенной скоростью и по более доступной цене. Основой новой методики является процесс формирования крошечных электрических цепей, которые невозможно увидеть без специального оборудования. Этот процесс отличается высокой точностью и экономичностью, что делает его привлекательным для масштабного производства.

Главным достижением стало создание новых материалов, способных выдерживать сильное ультрафиолетовое излучение, необходимое для формирования миниатюрных элементов на кремниевых пластинах. Микрочипы представляют собой плоские кремниевые подложки с встроенными электрическими цепями, которые выполняют основные функции. Производители наносят на них светочувствительный материал, который, подвергаясь воздействию излучения, реагирует и формирует узоры.

Традиционные методы не позволяют создать столь мелкие детали из-за недостатка устойчивости к высокоэнергетическим лучам. Однако метод химического жидкофазного осаждения (CLD) стал первым успешным примером применения металлоорганических смесей на основе имидазола для кремниевых пластин. Это позволяет точно настраивать и быстро тестировать различные комбинации материалов.

В настоящее время команда работает с комбинациями для излучения B-EUV, которое, как ожидается, станет доступным в производстве в ближайшие десять лет. По словам профессора Майкла Цапациса, различные металлы могут демонстрировать разные результаты в зависимости от длины волны: «Цинк не лучший выбор для экстремального ультрафиолетового излучения, но он отлично подходит для B-EUV».